类型:
磁控溅射阴极
规格:
2英寸/3英寸/4英寸/5英寸/6英寸
产品描述:
1、真空用磁控溅射阴极;2、真空辅助沉积用离子源;3、电弧源;4、电阻蒸发源;5、有机蒸发源;
参数:
1、采用耐腐蚀永磁铁2、靶材使用率大于33%;3、长期稳定使用
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