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蒸发镀膜机
规格:
MDTEMD600/1300/2100
产品描述:
TEMD600电子束多功能蒸发镀膜机系统具有真空度高、抽速快、基片装卸方便的特点。配备1套 E型电子束蒸发源和2组电阻蒸发源、可选配在线膜厚检测系统及离子源清洗及辅助沉积装置。具有成膜均匀、放气量小和温度均匀的优点。除了常规低熔点金属的蒸镀以外，TEMD600还可以蒸镀难熔金属和非金属材料，如SiO2，AL2O3，Al、Au、Ag、Ni、Ti、Cr、Pt等可应用于制备光学薄膜、导电薄膜，半导体薄膜、铁电薄膜等。
参数:
1.真空腔室腔室尺寸Φ600， 2.真空系统分子泵+机械泵气动真空阀门，“3.极限真空空载优于5.0×10-5Pa；4、配置电阻蒸发/电子束蒸发/有机材料蒸发；5、可配置无水无氧手套箱；