工具镀膜机
规格:
MDARC650/700/1000
产品描述:
广泛应用于工具、刀具、模具、零部件、医疗器械、等行业。可镀制AlTiN、TiAlN、AlTiXN、AlCrN、AlCrXN、TiSiN、CrN、TiN等氮化物涂层,Ta-c、类石墨、Cr+a-c、Cr+a-c:H、W+a-c、W+a-c:H等碳基,Cr+a-c:H、CrN+a-c:H等涂层。
参数:
1、工作温度室温-550℃ 2、腔室直径 650/700/1000mm3、电弧源D100/ D160 / 4、真空条件极限真空≤1×10-4Pa 5、工作真空≤5×10-a 6、工艺周期关门到开门4~5h TiN:2~2.5um TiAlN:2~2.5um TiSiN:2~3.5um 7、设备配置分子泵 脉冲偏压电源 PC智能控制系统;8、镀膜区间450/550/800;